技術指標

介質要求    潔凈、干燥的腐蝕性和非腐蝕性氣體

介質種類    內置了130種氣體，用戶可現(xiàn)場編輯混合氣體 （最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

量       程    從0-0.5 SCCM   到   0-10000 SLPM

測量范圍（量程比）    1～100%滿量程

顯 示 屏    標準為LCD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）

                  ±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（量程5 SCCM - 500 SLPM可選）

累計流量精度    流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差

重   復  性    ± 0.2 %滿量程

質量流量零點和滿量程溫度漂移    0.02%滿量程/℃（從25℃開始）

質量流量零點和滿量程壓力漂移    ±(0.08% 讀數(shù)+ 0.02% 滿量程)（從校準壓力開始）

顯示響應時間：10-4000ms（與流量相關，用戶可調）

預熱時間    ＜1 s

工作溫度    -10 ~ 60 ℃（環(huán)境和氣體）（可選高溫選項，氣體100℃，環(huán)境85℃）

溫度精度    ±0.75℃

工作濕度    0 ～95 %，無冷凝

工作壓力    11.5-160PSIA

壓力精度    ±0.5%滿量程

耐         壓    200PSIA（靜壓）；75PSID（進出口差壓）

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數(shù)字輸出信號    RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet

模擬輸出信號    0-5Vdc（默認）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA

數(shù)據刷新頻率    數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；

                模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9-24VDC （如選4-20 mA或0-10Vdc輸出，須為12 - 24 VDC ）

供電電流    40mA ；額外增加40mA輸出電流對于4-20 mA輸出

電氣接口    DB9M(默認)，可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10^-9Atm cc/s He

接液材質    主體和傳感器材質：316LSS

密封材質：FFKM（標準)，可根據特殊氣體選用FKM、EPDM等密封材質

過程接口    NPT內螺紋（默認），詳細規(guī)格參考壓損表；其他接口形式請咨詢

安裝方向    建議與地面垂直安裝

安裝固定孔    8-32UNC螺紋，數(shù)量和孔深與量程相關，具體請咨詢

防護等級    IP40（IP66可選）

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆（可選）