產(chǎn)品中心
Product Center
您當(dāng)前的位置:首頁產(chǎn)品中心ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器 21Q系列
滿量程10 SCCM - 10000 SLPM),優(yōu)于2 %的精度,優(yōu)于100 ms響應(yīng)時(shí)間,適用于高壓應(yīng)用
21Q系列氣體質(zhì)量流量控制器,同我們的標(biāo)準(zhǔn)控制器一樣,能對需要較高管線壓力(160-320 PSIA)的應(yīng)用環(huán)境進(jìn)行快速控制響應(yīng)。這款高壓應(yīng)用質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值,并保持該設(shè)定值,即使在壓力突然增加的情況下,亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能,確保相關(guān)產(chǎn)品能夠快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。
                                        
                                    
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜 ● 工業(yè)爐窯
● 半 導(dǎo) 體 ● 汽車制造
● 光 伏 ● 燃料電池
● 計(jì)量校準(zhǔn) ● 過程工藝氣體測量
產(chǎn)品特色
數(shù)字化產(chǎn)品
多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
穩(wěn)態(tài)控制范圍廣,0. 5~100%滿量程
響應(yīng)時(shí)間快,優(yōu)于100 ms
內(nèi)置98種氣體
可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣
量程為10 SCCM - 10000 SLPM,
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指標(biāo)升級:
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程(取最大值)
測量范圍 0.1 ~ 100%滿量程
重復(fù)性 ± 0.1%滿量程
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體,用戶可現(xiàn)場編輯混合氣體 (最多5種成分),并最多存儲20種混合氣
量 程 從0 - 10 SCCM 到 0 - 10000 SLPM
量程可控比(穩(wěn)態(tài)) 0.5% ~ 100%滿量程
顯 示 屏 標(biāo)準(zhǔn)為LCD單色顯示屏(帶背光),可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
精 度 ± 2%滿量程 精度升級見左下角
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差
重 復(fù) 性 ± (0.1%讀數(shù)+0.02%滿量程)
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃(從25℃開始)
± 0.01%滿量程/ Atm(從清零壓力開始)
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數(shù)/ ℃(從25℃開始)
± 0.1 %讀 數(shù)/ Atm(從校準(zhǔn)壓力開始)
控制響應(yīng)時(shí)間(T63) <100 ms(與流量相關(guān),用戶可調(diào))
顯示響應(yīng)時(shí)間 <10ms(與流量相關(guān))
預(yù)熱時(shí)間 <1s
工作溫度 -10 ~ 60 ℃(環(huán)境和氣體)
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ~ 95%,無冷凝
工作壓力 11.5-320PSIA
壓力精度 ± 0.5 % 讀數(shù)(讀數(shù)>1 Atm),或 ± 0.07 PSIA(<1Atm)
耐 壓 400PSIA(靜壓);75PSID(進(jìn)出口差壓)
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)字輸入/輸出信號 RS232/RS485串口和Modbus RTU(默認(rèn));可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet
模擬輸入/輸出信號 0-5Vdc(默認(rèn));可選1-5Vdc,0-10Vdc或4-20mA
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40Hz@19200波特率;
模擬信號:1000 Hz
屏幕刷新頻率 10Hz
模擬信號精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
供電電壓 12 - 24VDC(與量程相關(guān))
供電電流 0.250 -2A(與量程相關(guān);+40mA,對于4-20mA輸出)
電氣接口 DB9M(默認(rèn)),可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等
泄漏率(外漏) 選擇HLCP選項(xiàng),泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He
材 質(zhì) 主體材質(zhì):302,303,304和316LSS;
PCV閥門材質(zhì):430FRSS和黃銅;
R閥門材質(zhì):410SS,Nylon和Derlin;
密封材質(zhì)FKM;
傳感器材質(zhì)請咨詢工廠
過程接口 NPT內(nèi)螺紋(默認(rèn)),詳細(xì)規(guī)格參考壓損表;其他接口形式請咨詢
安裝方向 配置R閥門需閥體垂直向上安裝,其他閥門無要求
安裝固定孔 8-32UNC螺紋,數(shù)量和孔深與量程相關(guān),具體請咨詢
防護(hù)等級 IP40(可選IP66)
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆 (可選)
(需另行訂購)
● 過程端口接頭和過濾器
● 電源
● 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
● BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
● Flow Vision軟件
● MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器(電源需另行訂購)
● NIST可溯源校準(zhǔn)證書
● 艾里卡特操作說明書

滿量程高壓質(zhì)量流量控制器  | 滿量程壓損(psid) 排氣到大氣中 默認(rèn)閥門配置  | 外形尺寸  | 過程接口  | 重量  | 
10 SCCM  | 2.8  | 3.90''H x 3.34''W x 1.05''D  | M5內(nèi)螺紋(10-32兼容) (隨貨帶Buna-N面密封轉(zhuǎn)1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭)  | 1.1lb(約0.5kg)  | 
50 SCCM  | 1.0  | |||
100 SCCM ~ 500 SCCM  | 1.0  | 4.07''H x 3.59''W x 1.05''D  | 1/8'' NPT 內(nèi)螺紋  | 1.2lb(約0.5kg)  | 
1 SLPM  | 1.5  | |||
2 SLPM  | 3.0  | |||
5 SLPM  | 2.0  | |||
10 SLPM  | 5.5  | |||
20 SLPM  | 20.0  | |||
50 SLPM(配置R閥門)  | 2.0  | 5.50''H x 8.03''W x 2.25''D  | 1/4'' NPT 內(nèi)螺紋  | 9.0lb(約4.1kg)  | 
100 SLPM(配置R閥門)  | 3.2  | |||
250 SLPM(配置R閥門)  | 2.4  | 5.50’’H x 7.65’’W x 2.25’’D  | 1/2’’ NPT 內(nèi)螺紋  | 9.0lb(約4.1kg)  | 
500 SLPM  | 6.5  | 5.50’’H x 7.28’’W x 2.25’’D  | 3/4’’ NPT 內(nèi)螺紋 
 
  | 9.0lb(約4.1kg)  | 
1000 SLPM  | 14.0  | |||
2000 SLPM  | 28.6  | 5.50’’H x 8.10’’W x 2.90’’D  | 12lb(約5.4kg)  | |
3000 SLPM  | 16.8  | 5.50’’H x 8.90’’W x 2.90’’D  | 1-1/4’’ NPT 內(nèi)螺紋  | 12lb(約5.4kg)  | 
5000 SLPM  | 14.1  | 6.33’’H x 10.00’’W x 4.50’’D  | 1-1/2’’ NPT 內(nèi)螺紋  | 28lb(約12.7kg)  | 
10000 SLPM  | 12.0  | 6.33’’H x 9.73’’W x 4.50’’D  | 1-1/2’’ NPT 內(nèi)螺紋  | 23lb(約10.4kg)  | 

