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ALICAT 金屬密封型絕壓控制器 57系列

快速響應(yīng)的絕壓控制。

57系列金屬密封的絕壓控制器，接液材料限制為316L，加上PCTFE -這意味著它們與許多腐蝕性氣體兼容。任何流量的外形都符合SEMI設(shè)備標準，使半導(dǎo)體設(shè)備的重新利用，翻新和改裝變得容易。


應(yīng)用及案例

  • 半導(dǎo)體各種CVD鍍膜設(shè)備



產(chǎn)品特色

  • 接液材質(zhì)316L和PCTFE，能夠兼容絕大多數(shù)腐蝕性介質(zhì)。

  • 默認背壓控制選項。

  • 半導(dǎo)體標準尺寸，VCR 接頭與底座一體式加工，結(jié)構(gòu)更加緊湊，泄漏率可達10-10 atm·cc/sec He，更好的滿足客戶需求。