技術指標

介質要求    潔凈、干燥、無腐蝕性氣體

介質種類   可兼容Air，N2，O2，CH4，Ar，CO2，N2O，He，H2

滿量程：    標準0 - 100 SCCM至0-100SLPM，可10-125%量程標定      

測量和控制范圍    0.1 ~ 100%滿量程 （1000:1）        

精    度 ：

Air/N2/O2/CH4：±1.5%讀數(shù)或者±0.2%滿量程，取大值；

He/H2：±1.8%滿量程；

Ar：±1.5%讀數(shù)或者±0.5%滿量程，取大值；

CO2/N2O：100SCCM-2SLPM---±1.5%讀數(shù)或者±0.5%滿量程，取大值；

                 5-20SLPM---±2.0%讀數(shù)或者±1.0%滿量程，取大值；

                 50-100SLPM----±3.0%讀數(shù)或者±2.0%滿量程，取大值；

重 復 性：    ±0.25 %讀數(shù)或者±0.05%滿量程，取大值

溫度敏感性（質量流量零點和滿量程漂移）：± 0.05 % 讀數(shù)/ ℃（從校準溫度開始）

溫度精度：±1.5℃

累計流量精度：標準精度額外增加±0.6%讀數(shù)

控制響應時間（T63）    優(yōu)于100 ms，與量程相關，用戶可調(diào)

預熱時間    1分鐘（5分鐘適宜）

標準狀況（STP）：0℃，20℃，25℃，70℉ & 1Atm，用戶可定制

操作溫度：    0 ～ 50℃（介質和環(huán)境）

工作濕度      0-95 %，無冷凝

上限操作壓力  100SCCM-5SLPM:0-145PSIG

               10SLPM:0-100PSIG

               20SLPM:0-60PSIG

               50-100SLPM:0-145PSIG

  注：10SLPM和20SLPM可定制閥門選項，提高操作壓力

耐壓：  175PSIG

數(shù)字信號： Modbus ASCII和RTU 基于 RS485或RS232

數(shù)字信號刷新頻率：最快176Hz，與波特率和系統(tǒng)相關

模擬信號： 0 - 5 Vdc或4 - 20 mA

模擬信號刷新頻率：  400Hz

模擬信號精度：標準精度額外增加±0.125%滿量程

電氣接口：6針 JST GH

供電需求：    12-24 Vdc，210mA

材    質 ：

主體材質：硬質陽極氧化鋁

閥門材質：黃銅，300系列不銹鋼，NBR（丁晴橡膠），F(xiàn)R4樹脂

密封材質：FKM

傳 感 器：SiO2/SiNx/Si, Ablebond 84-3J，PBT UL 94V-0，錫，紫銅

過程連接    NPT或SAE內(nèi)螺紋

安裝固定孔：2×M3×0.5螺紋，深度6mm

安裝方向：   平行方向校準

閥門類型：常閉

防護等級    IP40

狀態(tài)指示燈（LED）：電源，串口通訊，錯誤