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ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器 21V系列

品牌：ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 200：1
內(nèi)置98種氣體，100ms響應(yīng)時(shí)間，優(yōu)于1%精度

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-基本型 11系列

品牌：ALICAT

量 程 0-100 SCCM到0-250 SLPM
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS系列

品牌：ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 100：1
內(nèi)置128種氣體，100ms快速響應(yīng)時(shí)間，優(yōu)于1%的精度

ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器 21Q系列

品牌：ALICAT

響應(yīng)式氣體流量控制，適用于高壓應(yīng)用

ALICAT CVD專用氣體質(zhì)量流量控制器 51系列

品牌：ALICAT

CVD專用氣體質(zhì)量流量控制器
層流差壓原理
非抗腐蝕

ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列

品牌：ALICAT

CVD行業(yè)專用真空控制器

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 03系列

品牌：ALICAT

品牌: ALICAT
滿量程 100 SCCM - 100 SLPM，優(yōu)于 1.5%RD 精度

ALICAT 本安防爆高壓型氣體質(zhì)量流量控制器 ISMCQ系列

品牌：ALICAT

量 程0.5 SCCM -10000 SLPM
優(yōu)于30 ms響應(yīng)時(shí)間

ALICAT 本安防爆耐腐蝕型氣體質(zhì)量流量控制器 ISMCS系列

品牌：ALICAT

量 程0.5 SCCM -250 SLPM
優(yōu)于100 ms響應(yīng)時(shí)間

ALICAT 本安防爆低壓損型氣體質(zhì)量流量控制器 ISMCW系列

品牌：ALICAT

量 程0.5 SCCM -10 SLPM
優(yōu)于1 %的精度，超低壓損